Вакуумная система
Вакуумная система является одной из основных систем установки, которая создаёт вакуумную границу, обеспечивая тем самым одно из необходимых условий для формирования, удержания и мерой наблюдения плазменного шнура, кроме того является неотъемлемым элементом необходимым для сопряжения с разрядной камеры ряда технологических систем КТМ таких как ТШУ , диагностики, ВЧ системы тема нагрева плазмы, система газонапуска а также газодинамического гашения плазмы.
Состав вакуумной системы КТМ В составе вакуумной системы КТМ можно выделить следующие:
- Вакуумная система разрядной камеры КТМ
- Вакуумная система шлюзового транспортного устройства КТМ
- Вакуумная система ВЧ нагрева КТМ
- Вакуумная система гашения плазмы
- Вакуумная система газонапуска в разрядную камеру КТМ
- Вакуумная система газонапуска в систему подачи топлива КТМ
- Вакуумная система газонапуска в систему диагностики АСИИТ КТМ
- Вакуумная система анализатора для измерений спектра ионов и их температуры КТМ
- Вакуумная система многоканальной болометрии КТМ
- Вакуумная система спектрометрии рентгеновского излучения плазмы КТМ.
Вакуумная система разрядной камеры предназначена для формирования разряда и поддержания его горения. Предельное остаточное давление в камере 10-8 торр.
Система откачки разрядной камеры работает в трех режимах:
- Форвакуумной откачки на базе пластинчато-роторных насосов с азотными ловушками
- Черновой откачки для проведения технологического отжига вакуумной камеры выполнена на базе турбомолекулярных насосов
- Чистовая откачка при проведении разрядов (зажигания плазмы) в камере с помощью криогенных насосов.
Вакуумная система шлюзового транспортного устройства обеспечивает загрузку в вакуумную камеру и выгрузку из нее сменных элементов диверторного устройства без разгерметизации основного объема камеры, а также осуществление дегазации сегментов приемно-диверторного устройства в процессе достижения рабочего вакуума.