Вакуумная система


Вакуумная система является одной из основных систем установки, которая создаёт вакуумную границу, обеспечивая тем самым одно из необходимых условий для формирования, удержания и мерой наблюдения плазменного шнура, кроме того является неотъемлемым элементом необходимым для сопряжения с разрядной камеры ряда технологических систем КТМ таких как ТШУ , диагностики, ВЧ системы тема нагрева плазмы, система газонапуска а также газодинамического гашения плазмы.

Состав вакуумной системы КТМ В составе вакуумной системы КТМ можно выделить следующие:

  • Вакуумная система разрядной камеры КТМ
  • Вакуумная система шлюзового транспортного устройства КТМ
  • Вакуумная система ВЧ нагрева КТМ
  • Вакуумная система гашения плазмы
  • Вакуумная система газонапуска в разрядную камеру КТМ
  • Вакуумная система газонапуска в систему подачи топлива КТМ
  • Вакуумная система газонапуска в систему диагностики АСИИТ КТМ
  • Вакуумная система анализатора для измерений спектра ионов и их температуры КТМ
  • Вакуумная система многоканальной болометрии КТМ
  • Вакуумная система спектрометрии рентгеновского излучения плазмы КТМ.

Вакуумная система разрядной камеры предназначена для формирования разряда и поддержания его горения. Предельное остаточное давление в камере 10-8 торр.

Система откачки разрядной камеры работает в трех режимах:

  • Форвакуумной откачки на базе пластинчато-роторных насосов с азотными ловушками
  • Черновой откачки для проведения технологического отжига вакуумной камеры выполнена на базе турбомолекулярных насосов
  • Чистовая откачка при проведении разрядов (зажигания плазмы) в камере с помощью криогенных насосов.

Вакуумная система шлюзового транспортного устройства обеспечивает загрузку в вакуумную камеру и выгрузку из нее сменных элементов диверторного устройства без разгерметизации основного объема камеры, а также осуществление дегазации сегментов приемно-диверторного устройства в процессе достижения рабочего вакуума.